学生実験            ▲

17. フォトリソグラフィーによる微細パターン形成

資料:

• 実験手順の説明書_20190810161920.pdf
  


• スライドの作成について_20191003000000.pdf
  


• テトラメチルアンモニウムヒドロキシド(TMAH)溶液とは、
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• バッファードフッ酸 (BHF: Buffered Hydrogen Fluoride)とは、HFとNH4Fとの混合物のことである。


• フッ化水素酸 (HF: Hydrofluoric acid, 俗にフッ酸)
  
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• フッ化アンモニウム ($\mathrm{NH_4F}$: Ammonium Fluoride)
  
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